[공시] 주성엔지니어링, 박막증착장치 특허

주성엔지니어링은 액정표시장치용 박막증착장치관련 특허를 취득했다고 공시했다.

이 특허는 FPD(Flat Panel Display)와 태양전지 장비에 사용되는 반응 챔버에서 안착되는 기판의 전 범위에 걸쳐서 소스 및 반응가스가 균일하게 분산될 수 있는 가스분산장치에 관한 것이다.