SK하이닉스, 일본서 불화수소 수입 허가…"불산액은 국산화"

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입력 2019-10-02 12:54  

SK하이닉스, 일본서 불화수소 수입 허가…"불산액은 국산화"



SK하이닉스가 일본의 수출 규제 조치 이후 처음으로 불화수소 수입 허가를 받은 것으로 확인됐다.

SK하이닉스 관계자는 2일 "9월 30일자로 일본이 반도체 공정에 사용하는 소재인 초고순도 기체 불화수소(에칭가스) 수출을 허가했다"고 밝혔다.

이어 "아직 한국에 들어오진 않은 상태"라고 덧붙였다.

기체 불화수소는 지난 8월 말 처음으로 수출 허가가 났으며, 당시 수입 기업은 삼성전자로 알려졌다.

앞서 일본은 지난 7월부터 한국에 대해 불화수소를 포함한 3개 품목의 수출을 규제했다.

이후 약 3개월 만에 두 차례 수출 허가가 난 셈이다.

다만 일본 정부는 액체 불화수소에 대해서는 `서류보완`을 이유로 수출 허가를 내주지 않고 있다.

산업통상자원부는 1일 반도체용 불산액이 신청 후 90일이 다 되도록 한 건의 허가도 발급되지 않고 있다고 전했다.

SK하이닉스는 수입 허가를 받지 못한 액체 불화수소(불산액)의 경우 "지난 1일 일부 생산라인에 국산 액체 불화수소를 투입해 사용 중이다"고 밝혔다.

지난 달 LG 디스플레이, 삼성전자 등이 일본 고순도 불화수소 일부를 국산품으로 대체한 바 있다.
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