아이원스, 반도체장비 부품 신소재 '아이코닉' 생산설비 구축

반도체용 부품 제조·세정 업체인 아이원스가 반도체장비 부품 핵심 소재 개발을 성공시키고 본격적인 양산 준비에 나선다.

아이원스는 반도체장비 부품 핵심 소재로 개발을 완료한 '아이코닉'(ICONiC)의 생산용 설비 구축을 완료하고 고객사와 성능 테스트를 시작했다고 30일 밝혔다.

아이원스가 한국세라믹기술원과 3년간의 연구를 통해 개발한 아이코닉은 반도체 제조 식각 공정 장비 소모품인 포커스링으로 사용 가능한 소재다. 기존 포커스링 소재로 규산(SiO2)으로 만든 '쿼츠'가 주로 사용된다. 쿼츠를 사용한 포커스링은 식각 공정에서 고온·고압 등 극한 환경에 노출 시 쉽게 마모가 돼 주기적인 교체가 필요하다.

아이코닉은 비정질 세라믹을 사용한 소재로 플라즈마 식각 환경에서도 내구성이 높다. 쿼츠 소재의 포커스링은 약 300시간마다 교체를 해야 하는데 아이코닉 소재의 포커스링은 기존 대비 약 4배가량 사용기간이 늘어날 것으로 기대된다. 포커스링 교체 시 공정을 멈추고 장비 내 세정을 해야 하는데 아이코닉을 활용하면 생산 중단 문제도 해결할 수 있다.

이문기 아이원스 대표는 "아이코닉은 기존 쿼츠보다 성능면에서 4배 이상 월등하고 가격경쟁력도 갖추고 있다"며 "다수의 고객사에 아이코닉 샘플을 우선 공급해 제품 테스트에 돌입했다"고 밝혔다.

이어 "반도체 산업 전통적 성수기인 3분기에 반도체 정밀가공 및 세정 제품 수주물량 증가가 예상돼 올해 실적 호조세가 이어질 것으로 기대하고 있다"고 덧붙였다.

류은혁 한경닷컴 기자 ehryu@hankyung.com