[한국수자원공사 2023년 창업도약패키지 선정기업] 이온주입 반도체 제전 솔루션을 개발한 기업 ‘라드피온’

입력 2024-02-06 09:14   수정 2024-02-06 09:15

[한국수자원공사 2023년 창업도약패키지 선정기업] 이온주입 반도체 제전 솔루션을 개발한 기업 ‘라드피온’



[한경잡앤조이=이진호 기자] (주)라드피온은 이온주입 반도체 제전(정전분산) 솔루션을 개발한 기업이다. 김명진 대표(50)가 2017년 12월에 설립했다.

김 대표는 “라드피온은 국내 유일의 이온주입기술 전문기업”이라며 “이온빔 응용기술 연구, 이온주입장치&가속기 개발, 문화유산 융복합 연구를 통해 이온빔 융복합기술 첨단기업으로 성장하는 벤처기업”이라고 소개했다.

라드피온은 현재 세계 최초로 이온주입기술을 이용한 반도체 공정부품 정전기 제거(제전) 종합솔루션을 개발해 글로벌 사업화를 추진하고 있다. 또한 화합물반도체, 전력반도체, 미래자동차, 우주국방 분야에 적용이 가능한 이온빔 응용기술을 개발 중이다.

라드피온은 반도체 제조공정에 주로 사용되는 PTFE, PFA, Al2O3, ZnO2 등의 고분자·세라믹 소재 공정부품에 복합(기체·금속) 이온빔을 조사해 반도체 제조공정에서 발생 되는 정전기 불량을 사전에 예방할 수 있는 이온주입 반도체 제전부품과 이온주입장치를 포괄하는 종합 솔루션을 제공하고 있다.

“이온주입 반도체 제전부품은 107 Ω/sq 이하의 표면전기저항, 20 V 이하의 축전전압, 30 ㎛ 이하의 외형변형, 300 ㎜ 이상의 대면적 조사 등의 우수한 성능으로 인해 전체 반도체 정전기 불량의 80% 이상을 제거할 것으로 평가받고 있습니다. 특히 경쟁기술 대비 7배 이상 우수한 제전 성능, 절반 수준의 단가로 높은 기술 및 가격 경쟁력을 확보하는 친환경 기술입니다. 라드피온은 2022년 8월 세메스(주) SSQ 인증을 획득하였으며, 이온주입 반도체 제전부품은 현재 세메스 최신 반도체 공정장비에 초기 양산 적용되고 있습니다.”

현재 반도체 제조공정에서는 정전 분산 특성이 있는 제전부품을 사용하여 정전기 발생을 예방하고 있다. 이때 일본의 원천기술로 개발된 CNT 제전부품이 주로 사용되고 있다. 김 대표는 “정전기 제거 성능이 좋지 않고, 탄소 입자 재방출에 의한 공정라인의 오염, 높은 단가로 인해 이를 대체할 새로운 기술이 매우 절실한 실정”이라며 “라드피온은 첨단 이온주입기술을 이용하여 반도체 공정부품의 정전기 문제를 해결했다”고 말했다.

“반도체 공정부품에 이온주입을 하면 재료의 표면구조가 개선돼 정전기가 흘러나갈 수 있는 새로운 길이 생성됩니다. 라드피온은 이온주입 반도체 제전부품과 관련된 원천기술을 모두 확립했습니다. 또한 반도체 제전부품용 대면적, 대전류 복합이온빔 주입장치를 독자적으로 개발 완료했습니다. 현재까지 전 세계적으로 대면적, 대전류 복합이온빔 주입장치 생산과 이온주입기술을 이용한 제전부품의 양산에 성공한 기관은 라드피온이 유일합니다. 이온주입 반도체 제전부품은 낮은 축전전압, 균일한 제전성능, 높은 내화학성, 그리고 박리 및 입자 재방출이 없어서 정전기 불량의 80% 이상을 예방할 것으로 평가받고 있습니다. 또한 제품의 단가는 경쟁기술의 절반 수준에 불과합니다. 이와 함께 현재 사용되고 있는 공정부품에 이온주입기술로 제전성능을 부여하는 것이기 때문에 사업화 진입장벽이 매우 낮습니다. 따라서 경쟁기술인 일본 CNT 제전부품과 비교했을 때, 반도체 정전기 예방을 위한 세계 최고의 솔루션으로 평가받고 있습니다.”

라드피온은 국제전시회 홍보, 국내외 관력학회 발표, 대학 및 출연(연)과의 공동연구 등을 통해 네트워킹된 반도체·전기차·디스플레이 제조기업 및 장비기업들에 이온주입 제전솔루션을 적극적으로 소개하고 공동 실증실험을 통해 판로를 개척하고 있다. 또한 이들 수요기업의 글로벌 영업망을 통해 해외 진출도 고려하고 있다.

라드피온은 지금까지 총 21억원의 투자를 유치했으며, 이온주입기술 전문기업에서 이온빔 융복합기술 첨단기업으로 발전하기 위해 현재 시리즈A 투자유치를 진행 중이다.

김 대표는 어떻게 창업하게 됐을까. “라드피온은 오랫동안 방사선 및 이온빔 분야의 원천기술을 개발해오던 박사(급) 이공계 전문가들이 이온주입기술 사업화를 위해 함께 모여 세운 회사란 의미를 담고 있습니다. 이들은 일본산 반도체 CNT 제전부품이 세계 시장을 장악하고 있는 상황에서 월등한 성능의 친환경 반도체 제전제품을 자체 이온주입기술로 독자 개발 가능하다는 점에서 크게 공감한 후 미개척지로 남아있던 ‘이온주입 반도체 제전부품’ 개발을 위해 함께 뭉치게 됐습니다. 당사 설립 후인 2019년 일본 반도체 수출규제로 인한 반도체장비 전문회사인 삼성전자 자회사 세메스의 반도체 제전부품 개발 요청과 국내 반도체 기술자립화에 대한 정부지원을 바탕으로 3년 만에 세계 최고 수준의 차세대 친환경 반도체 제전부품 개발에 성공할 수 있었습니다.”

라드피온은 총 18명의 임직원으로 구성돼 있다. 당사는 한국원자력연구원에서 20년 이상 이온주입기술을 연구한 연구원들이 핵심인력으로 포진하고 있다. 김 대표는 “물리학, 전기공학, 금속공학, 재료공학 분야의 다양한 이공계 박사급 연구원들이 사업화를 위해 밤낮없이 노력하고 있다”고 말했다.

앞으로의 계획에 대해 김 대표는 “라드피온은 현재 시리즈A 투자유치를 진행 중”이라며 “이를 통해 최종적으로 “세계 최초로 산업용 10 MeV 이온빔 가속기를 독자기술로 개발 설치하여 세계 최고의 이온빔 융복합기술 첨단기업으로 성장할 것”이라고 말했다.
라드피온은 지난해 한국수자원공사가 운영하는 창업도약패키지 사업에 뽑혔다. 창업도약패키지는 창업 3~7년 된 도약기 창업기업의 스케일업을 위해 최대 3억원의 사업화 지원금과 서비스를 제공하는 창업진흥원 지원사업이다. 스타트업의 경영 진단 및 개선, 소비자 요구 및 시장 환경 분석, 투자진단 및 전략 수립을 지원한다.

설립일 : 2017년 12월
주요사업 : 이온주입 반도체 제전(정전분산) 솔루션
성과 : 2024년 IBK창공 혁신창업기업 선정, 2023년 12월 신보 SOUND 2023 U-connect final 데모데이 우수상, 2023년 11월 2023 한밭대학교 산학협력 Fair 산학협력 우수기업 표창, 2022년 12월 pre-A 투자 16억원 유치, 2022년 8월 세메스(주) SSQ 인증 및 납품업체 등록, 2022년 3월 신보 퍼스트펭귄 창업기업 선정, 2021년 10월 중기부 소재·부품·장비 창업기업 선정


jinho2323@hankyung.com

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