예스티와 HPSP의 반도체 고압 어닐링 장비 관련 특허심판에서 특허심판원의 예스티의 손을 들어주면서 두 종목의 주가 희비가 엇갈리고 있다.
28일 오전 9시8분 현재 예스티는 전일 대비 1120원(6.69%) 오른 1만7850원에 거래되고 있다. 반면 HPSP는 1450원(6.03%) 하락한 2만2600원을 기록 중이다.
앞서 지난 25일에도 예스티는 24.48% 올랐고, HPSP는 3.02% 빠졌다.
특허심판원이 예스티가 청구한 2건의 소극적 권리범위확인심판에서 예스티의 고압어닐링장비 잠금장치 구조가 HPSP의 특허와 다르다는 판단으로 인용 결정을 내린 영향이다.
고압어닐링장비는 반도체 미세화 공정에 필요한 장비다. 웨이퍼와 절연막 사이의 계면 결함을 제거해주는 역할을 한다.
한경우 한경닷컴 기자 case@hankyung.com
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