지금이야 고대역폭메모리(HBM)가 반도체 시장을 주도하고 있지만 10년 전만 해도 HBM을 주목한 기업은 거의 없었다. 더군다나 대기업에 비해 투자 여력이 부족한 중소·중견기업이 불확실한 사업에 거액을 쏟아붓는 건 쉬운 일이 아니다. 그럼에도 중견 반도체 장비 기업인 제우스의 이종우 대표는 2015년 용단을 내렸다. HBM 시대가 오면 웨이퍼에 낀 불순물을 제거하는 세정 장비의 중요성이 커질 것으로 보고 HBM 전용 장비를 개발하기로 했다.
이 대표의 ‘유비무환 경영’은 빛을 발하고 있다. 코스닥시장 상장사인 제우스는 반도체업계가 초호황이던 2022년 수준을 뛰어넘어 지난해 사상 최대 이익을 냈다. 2011년 창업주인 부친으로부터 경영권을 넘겨받은 지 10여 년 만에 회사 규모를 두 배로 키웠다. 2세 경영인으로서 청출어람을 실천하고 있는 이 대표와의 일문일답.
▷지난해 사상 최대 이익을 냈습니다.“한마디로 ‘준비된 기회’라고 말하고 싶습니다. 우리는 블루오션을 찾고 준비하는 것을 중요하게 여깁니다. 대표적인 예가 HBM을 비롯한 첨단 패키징 세정 장비입니다. 10년 전 개발에 들어가 2017년 첫 매출이 발생했는데, 당시에는 이 시장 자체가 얼마나 커질지 불확실했습니다. 포기하지 않고 개발과 투자를 계속한 것이 좋은 성과로 이어졌습니다.”
▷세정 공정이 중요해진 이유는 뭔가요.
“웨이퍼의 잔류물을 제거하는 세정 공정은 노광, 식각, 증착 등 다른 전 공정 장비에 비해 상대적으로 주목도가 떨어졌습니다. 하지만 반도체 공정이 나노 단위로 미세화하고, HBM 공정에서 수율 확보가 핵심 변수가 되면서 높은 화학적 정밀도를 갖춘 세정 장비의 중요성이 더 커졌습니다.”
▷세정 시장에서 제우스의 위상은 어느 정도인가요.
“우리가 만든 HBM 세정 장비 아톰과 새턴을 삼성전자와 SK하이닉스가 모두 쓰고 있습니다. 미리 준비한 시장이 성장한 건 운이 좋았습니다. 하지만 HBM 시장이 너무 빠르게 커지면서 글로벌 메이커들도 뛰어들고 있어 경쟁은 더 치열해질 듯합니다.”
▷새로 공략 중인 틈새시장이 있습니까.
“HBM 세정 장비 이후 준비하는 건 포토닉 디본딩 장비입니다. 디본딩은 얇은 웨이퍼가 가공 중 깨지지 않도록 임시 캐리어에 붙였다 떼어내는 공정입니다. 차세대 HBM4 공정에서는 웨이퍼 두께가 30나노미터(㎚) 이하로 얇아지는데요. 기존 공정으론 한계가 있습니다. 우리는 고강도 펄스형 광선으로 웨이퍼를 떼내는 포토닉 디본딩 장비를 개발했고, 디본딩에 이어 세정까지 ‘풀옵션’으로 제공할 계획입니다.”
▷유리기판도 개발 중이라고 들었습니다.
“기존 실리콘 기판을 대체하는 유리기판과 특정 압력과 온도를 활용해 식각 공정의 성능을 향상시키는 고온·고식각률 식각장비(PEP) 등을 개발 중입니다. 업계에선 두 기술의 상용화 시점을 2030년 전후로 보고 있는데요. 2022년과 2024년에 회사 매출은 비슷해도 세부 구성이 다를 정도로 시장 변화가 빠릅니다. 당장은 이 시장이 의미 있는 매출이 나오기에 작다고 생각할 수 있는데 미리 준비하면 신성장 동력이 될 수 있다고 봅니다.”
▷로봇도 중요한 사업으로 자리잡았네요.
“2019년 자체 기술로 만든 6축 다관절 로봇 제로로 시장에 뛰어들었습니다. 우리가 집중하는 건 ‘라스트마일’ 공정 자동화입니다. 글로벌 로봇 기업 대부분이 물류 작업 등에 집중하지만 우리는 공정의 마지막 단계 즉 사람이 직접 손으로 처리하던 영역을 공략하고 있습니다. 맞춤형 시장에 강한 우리 로봇 구조 덕분에 고객사에서 좋은 반응을 얻고 있습니다. 지난해 1026억원의 매출을 올렸습니다.”
▷경영을 맡은 뒤 회사가 많이 변했습니다.
“1970년 회사를 창업한 부친(이동악 제우스 회장)에 이어 2011년부터 경영을 맡고 있습니다. 제우스는 2004년 독자 기술로 디스플레이 열처리 장비(HPCP)를 개발해 이 분야 세계 시장 1위에 오르기도 했습니다. 한때 전체 매출의 70%가 디스플레이 장비였지만 이젠 반도체 장비 비중이 70%가 넘습니다. 제우스는 계속 변화해서 시장에서 살아남으려고 합니다.”
▷기업 경영의 원칙은 무엇입니까.
“좋은 기회는 언제든 올 수 있는데, 그때 준비돼 있는가가 가장 중요합니다. 회사도 마찬가지입니다. 블루오션을 노리면서 기술을 준비하고, 시장을 관찰하고, 고객과 소통하며 기다려야 합니다.”
화성=황정환 기자
■ 이종우 제우스 대표는
△1971년 서울 출생
△2000년 미국 미시간대 전자공학 학·석사
△1998년 미국 메이콤 입사
△2000년 케이던스디자인시스템스 입사
△2004년 제우스 입사
△2011년 제우스 대표
△2019년 한국로봇산업협회 이사
△2020년 한국중견기업연합회 이사
△2025년 한국수입협회 부회장
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