하이닉스 출신 전선규 회장…반도체 기술 국산화해 창업

미코그룹의 역사는 SK하이닉스 전신인 현대전자 출신 전선규 회장이 1996년 국내 최초로 반도체 장비 세정 및 코팅 기술을 국산화하며 시작됐다. 이 회사는 2004년 국내 최초로 반도체 웨이퍼를 흔들리지 않게 고정하는 핵심 부품 ‘200㎜ 세라믹 정전척(ESC)’을 개발했다. 2012년엔 웨이퍼 표면에 얇은 박막을 형성하는 증착 공정에서 웨이퍼를 균일하게 가열하는 장비인 ‘세라믹 히터’를 내놓으며 국내 대표 반도체 소재·부품·장비 업체로 성장했다.

그룹의 핵심 계열사인 코미코는 반도체 장비 세정 및 코팅 서비스를 담당한다. 코미코의 자회사 미코세라믹스는 세라믹 원료 분말부터 세라믹 히터와 정전척 등 첨단 소재, 부품을 생산한다.

미코그룹의 신성장동력은 에너지산업이다. 2021년 설립된 미코파워는 고체산화물연료전지(SOFC)의 전주기 기술을 독자 확보했다. 지난해 현대중공업파워시스템에 이어 올해 플랜텍을 잇달아 인수하며 액화천연가스(LNG)부터 수소, 탄소 포집·활용·저장(CCUS)까지 에너지 사업을 확대하고 있다.

지난해 기준 미코그룹의 매출(연결 기준)은 5405억원, 영업이익은 946억원이었다. 에너지 사업이 본격 궤도에 오른 올해 상반기 매출은 4635억원, 영업이익은 655억원을 기록했다. 지난 6월 말 기준 최대주주인 전 회장이 지분 15.09%를 보유하고 있다.

황정환 기자 jung@hankyung.com