12일 오전 11시50분께 삼성전자 반도체 사업 연구개발(R&D)의 심장으로 불리는 경기 화성 DSR(부품연구동) 로비로 제네시스 G90 한 대가 들어갔다. 차에서 내린 사람은 최첨단 반도체 공정의 필수품인 극자외선(EUV) 노광장비(빛으로 웨이퍼에 회로를 그리는 장비) 시장을 독점하고 있는 네덜란드 ASML의 크리스토퍼 푸케 최고경영자(CEO).
푸케 CEO는 DSR VIP 식당에서 삼성전자 반도체 사업을 총괄하는 전영현 디바이스솔루션(DS)부문장(부회장) 등 고위 경영진과 약 1시간 30분 동안 식사를 함께 하며 EUV 노광장비를 매개로 한 차세대 제품 공동 R&D 방안을 논의했다.
▶본지 11월12일자 A12면 참조
푸케 CEO가 삼성전자, SK하이닉스 고위 경영진을 잇달아 만나 협업 강화 방안을 논의했다. 푸케 CEO는 지난 11일 입국 직후 곽노정 SK하이닉스 사장(CEO)을 만났고, 12일 오전 경기 화성 ASML 화성캠퍼스에서 열린 신사옥 준공식에선 송재혁 삼성전자 DS부문 최고기술책임자(CTO) 겸 반도체연구소장(사장), 김용관 삼성전자 경영전략담당 사장, 차선용 SK하이닉스 미래기술연구원장(사장) 등과 얘기를 나눴다.
준공식 직후엔 약 20분 거리에 있는 DSR에서 전영현 부회장, 송재혁 사장 등과 오찬을 함께 했다. 이 자리에선 ‘하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA) EUV’를 활용한 제품 공동 연구개발(R&D) 방안이 논의 테이블에 올랐다. 하이 NA EUV는 전 세대 EUV와 1.7배 정밀하게 회로를 그릴 수 있다. 가격은 대당 5500억원에 달하지만 연간 생산 가능 물량이 7~8대에 불과해 반도체 업체 간 확보 경쟁이 치열하다. 삼성전자는 연내 최신 하이 NA EUV를 한 대 들여오고 나서 내년 상반기 한 대 더 도입하기로 했다.
두 회사 경영진은 하이 NA EUV를 활용한 수직채널트랜지스터(VCT) D램, 2나노미터(㎚·1㎚=10억분의 1m) 이하 파운드리(반도체 수탁생산) 등 차세대 제품·공정 관련 기술 협력 방안을 구체화한 것으로 알려졌다.
한편 이날 준공식엔 삼성전자, SK하이닉스 고위 임원뿐만 아니라 정부·지방자치단체 주요 관계자, 주한 네덜란드 대사 등 약 80여명의 외부 인사들이 참석했다. 푸케 CEO는 "화성 캠퍼스를 통해 긴밀한 협력과 신속한 기술 지원이 가능해졌다"고 말했다.
화성=황정수/김채연 기자 hjs@hankyung.com
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