17일 금융감독원 전자공시에 따르면 반도체 전공정 단계의 증착장비를 제조하는 원익IPS는 지난 3분기 매출 2684억원, 영업이익 275억원을 기록했다. 전년 동기 대비 매출은 45%, 영업이익은 90% 증가했다. 올 3분기까지 누적 영업이익은 566억원으로 늘어나며 흑자 전환했다. 올 들어 P4와 테일러 파운드리로 장비가 본격 출하돼 실적 반등에 성공했다는 분석이 나온다.일반적으로 반도체 공장을 신설할 때 초기 수혜는 장비 및 엔지니어링 기업에 집중된다. 원익IPS와 함께 삼성에 증착장비를 공급하는 유진테크가 대표적이다. 업계에선 고대역폭메모리(HBM) 수율 향상과 직결되는 열처리(어닐링) 공정 장비를 생산하는 이오테크닉스와 HPSP의 실적 개선 폭도 클 것으로 보고 있다. 웨이퍼 표면 잔류물을 제거하는 세정장비 업체 피에스케이와 제우스 역시 삼성 밸류체인의 핵심 기업으로 꼽힌다. 케이씨텍은 화학적기계연마(CMP) 장비를 삼성전자에 공급하고 있다.
내년 P4와 테일러 공장이 가동되면 소재 및 부품 업체로 삼성 반도체발 낙수효과가 확산할 전망이다. 노광 공정용 포토레지스트 등을 생산하는 동진쎄미켐과 식각액을 제조하는 솔브레인이 삼성전자의 핵심 소재 업체군으로 분류된다. 미코세라믹스는 웨이퍼를 고정하는 세라믹 정전척을 삼성전자에 공급하고 있다. 반도체 불량 여부를 검사하는 테스트 핀으로 유명한 리노공업과 첨단 극자외선(EUV) 노광 공정에 필요한 펠리클을 제작하는 에프에스티 등도 핵심 부품 협력사다.
황정환 기자 jung@hankyung.com
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