[주간 소부장] 2세대 High-Na 경쟁 본격화...SK실트론 인수하는 두산

이번 주에도 반도체 소재·부품·장비(소부장) 업계에서는 굵직한 이슈들이 쏟아졌습니다. 투자·수주·기술 개발부터 글로벌 공급망 변화까지, 개별 뉴스로는 놓치기 쉬운 흐름들이 포착됐습니다. 한 주간 국내 소부장 기업들의 주요 움직임을 한데 모아 짚어봤습니다.

High-NA EUV 도입 두고…치고 나가는 인텔...TSMC는 ‘속도조절’

인텔이 최근 자사 블로그를 통해 ASML의 최신 2세대 상용 High-NA EUV(0.55NA) 장비 ‘EXE:5200B’를 설치하고 1.4나노 공정 개발에 투입한다고 밝혔습니다. 미세공정 경쟁의 무게추가 다시 ‘노광’으로 이동하고 있는데요.

삼성전자 역시 연내 최신 하이 NA EUV를 한 대 들여온 뒤 내년 상반기 한 대 더 도입할 계획입니다. 새로 도입하는 양산용 장비는 파운드리 승부처인 2㎚ 이하 공정에 우선 투입할 것으로 보입니다.

반면 TSMC는 1.4나노 등에서 최신 High-NA를 서두르지 않고 비용·공정 복잡도 관리에 집중하는 분위기입니다. 기존 ASML EUV 장비(3000억원)보다 80% 가량 비싼 5500억원에 달하는 새 장비 도입과 무리한 미세 공정 진입보단 기존 장비로 최대한 수익을 확보하려는 전략으로 보이는데요.

파운드리 업계가 다시 미세 공정 경쟁에 돌입하면서 승부처는 포토레지스트·마스크·펠리클·계측·패터닝 보완 등 High-NA 생태계로 확장될 가능성이 큽니다.

이는 한국 소부장 기업엔 ‘양날의 검’이 될 전망입니다. 장비·소재 스펙이 한 단계 더 올라가며 EUV용 소재·부품 국산화 기회가 커질 수 있습니다. 한편으론 첨단 공정에서 파운드리별 채택 속도차가 커지면서 투자 타이밍·수요 예측 난도가 높아질 수 있다는 관측도 나옵니다.

중국이 EUV 노광 장비를?...빨라지는 자립 속도

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최근 중국이 반도체 극자외선(EUV) 노광장비의 시제품을 자체적으로 개발한 것으로 알려졌다는 보도가 나왔습니다. 로이터통신 등은 중국 선전의 한 보안 연구시설에서 2025년 초부터 EUV 장비 시제품이 완성돼 시험 가동 중이라고 전했습니다.

해당 장비는 웨이퍼에 초미세 회로를 새기는 데 필수적인 13.5nm ‘극자외선’을 생성하는 데는 성공했으나, 아직 상용 양산 수준에는 도달하지 못한 단계인 것으로 평가됩니다. 중국은 이를 2028년까지 실제 칩 생산을 목표로 하는 단계적 로드맵의 일부로 설정하고 있습니다. </h3>이 장비 개발에는 ASML 출신 엔지니어들이 참여해 기존 EUV 시스템을 역설계하는 방식이 동원된 것으로 추정됩니다. 일부 보도에선 이 프로젝트를 '중국판 맨해튼 프로젝트'에 비유하기도 했습니다. 그러나 실제 성능과 양산 가능성, 핵심 광학 부품(칼 자이스급 초정밀 광학계) 확보 여부 등에서 서방 기술과는 여전히 큰 격차가 존재한다는 평가가 지배적입니다.

올들어 중국 장비 업계의 성장세가 유독 빨라지면서 국내 반도체 소부장 산업에도 여파가 미치고 있습니다. 업계에선 중국 반도체 업계에서 “외국산 장비 1대를 들일 때마다 국산도 1대 구입한다”는 이른바 ‘50% 룰’이 올해를 기점으로 본격 적용되고 있다는 이야기가 나옵니다.

올 들어 10월까지 한국의 대(對)중국 반도체 장비 수출액은 9억6300만달러로 지난해 같은 기간보다 17.8% 줄었습니다. 중국이 대형 팹(반도체 공장) 증설에 나선 2021년(22억6000만달러)과 비교하면 절반 수준입니다.

업계에서는 한국산 장비 수출이 줄어든 이유로 50% 룰을 꼽고 있습니다. 대체 불가능한 첨단 공정용 장비는 유럽 등지에서 계속 수입하고, 한국 장비는 값싼 중국산으로 대체하고 있다는 것입니다.

두산그룹이 세계 3위 반도체 웨이퍼 제조사 SK실트론 인수 우선협상대상자로 선정됐습니다. 반도체 원판인 웨이퍼를 생산하는 SK실트론은 현재 글로벌 시장 점유율 3위(12인치 웨이퍼 기준)를 차지하고 있습니다.

SK실트론은 지난해 매출 2조1268억원, 영업이익 3155억원을 기록했습니다. SK그룹이 SK실트론 매각에 나선 것은 재무적 안정성을 높이기 위한 유동성 확보 차원으로 풀이됩니다. 시장에선 매각이 성사되면 SK㈜가 3조원 이상의 현금을 확보할 수 있을 것으로 보고 있습니다.

두산그룹은 SK실트론을 인수할 경우 반도체를 중심으로 한 사업 포트폴리오가 한층 강화될 전망입니다. 두산은 현재 지주사인 ㈜두산 내 전자BG 사업부와 자회사 두산테스나를 두 축으로 반도체 사업을 하고 있습니다.

두산이 2022년 인수한 두산테스나는 국내 1위 반도체 후(後)공정 기업으로 비메모리 반도체 테스트 분야에 특화돼 있다. ㈜두산의 전자BG가 생산하는 반도체 기판용 동박적층판(CCL)은 PCB 업체 등을 거쳐 최종적으로 미국 엔비디아에 공급되고 있다.

이번에 웨이퍼 제조사인 SK실트론까지 품게 되면, 두산의 사업 영역은 반도체 산업의 전·후방인 웨이퍼(소재)와 후공정(테스트)로 넓어집니다.

이 주의 주요 공시 및 기업 소식

12월18일
-에스티아이, 160억원 규모 자사주 55만주 소각
-파두

12월19일
-파두, 해외 낸드플래시 제조사에 67억원 규모 기업용 SSD 컨트롤러 공급

12월22일
-미코, 366억원 투자해 펜타스톤3호 신기술투자조합 지분 99% 취득

12월23일
-퀄리타스반도체, 21억원 규모 반도체 설계자산(IP) 라이선스 계약

12월24일
-넥스틴, 주당 510원 현금 배당 결정
-넥스트칩, 국내 IT,반도체 업체와 71억원 규모 ISP 기술 사용권,실시권 계약 체결

황정환 기자 jung@hankyung.com