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램리서치와 특허 전쟁하는 CMTX…특허무효 심판서 승소

입력 2026-01-07 14:59   수정 2026-01-07 15:23



반도체 공정용 실리콘 부품 전문기업 씨엠티엑스(CMTX)가 글로벌 반도체 장비 업체인 램리서치와의 특허 소송에서 연이어 승소했다.

씨엠티엑스는 지난 달 30일 특허심판원이 씨엠티엑스가 제기한 램리서치의 ‘무선 주파수 접지 복귀 장치들(특허 제2285582호)’ 특허무효 심판에서 ‘청구 성립’ 심결을 내렸다고 7일 밝혔다. 청구 성립 심결은 해당 특허를 무효로 하고, 심판비용은 피청구인인 램리서치가 부담한다는 주문이다.

특허심판원은 램리서치의 해당 특허가 선행 기술들과 비교할 때 진보성이 결여돼 특허로서의 효력이 없다고 판단했다. 특허의 핵심 기술 구성이 이미 공개된 여러 선행 기술에 게시돼 있고, 선행 기술을 종합하면 특별한 기술적 창작 없이도 쉽게 도출할 수 있는 수준이라는 판단이다.

씨엠티엑스는 지난 7월 같은 특허에 대해 제기했던 '소극적 권리범위확인 심판’에 이어 무효심판까지 연이어 승소하게 됐다. 씨엠티엑스 관계자는 "씨엠티엑스 제품이 상대 특허를 침해하지 않았음을 확인하는 심판에 이어 특허 자체를 무효화하는데 성공한 셈"이라고 설명했다.

이번 분쟁은 2024년 램리서치가 자사 반도체 장비에 적용되는 특정 공정 부품이 자사 특허를 침해한다며 씨엠티엑스를 상대로 특허권 침해금지 소송을 제기하면서 시작됐다.

씨엠티엑스는 이번 무효 심결 결과를 현재 법원에 계류 중인 특허 침해 금지 및 손해배상 청구 소송(민사)에 즉각 제출하여 소송을 조기에 마무리 짓겠다는 전략이다.

씨엠티엑스 관계자는 "이번 특허심판원의 심결은 씨엠티엑스의 식각 공정용 부품 기술이 램리서치의 기술을 모방한 것이 아니라, 독자적인 연구개발(R&D)을 통해 확보한 고유의 기술임을 공인받은 결과"라며 “연이은 승소를 통해 앞으로의 민사 소송에서도 승기를 잡을 것을 확신한다”고 밝혔다.

최근 램리서치는 국내 중소기업들을 대상으로 특허 침해 경고장을 발송하고 소송을 제기하며 시장 진입을 견제해왔다. 씨엠티엑스 측은 "이번 승소는 단순히 개별 기업의 방어를 넘어, 국내 반도체 부품 생태계의 기술적 독립성과 정당한 경쟁 권리를 지켜낸 사례"라고 강조했다.

황정환 기자 jung@hankyung.com


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