16일(현지시간) 로이터통신에 따르면 화훙그룹의 파운드리 자회사 화리마이크로일렉트로닉스는 상하이 공장에서 7나노 공정 도입을 준비 중이다.
화리는 지난해부터 7나노 칩을 연구개발해 왔으며, 화웨이의 지원을 받는 시캐리어 등 중국 장비 공급업체들이 이를 지원한 것으로 알려졌다. 7나노 반도체를 생산할 수 있는 곳은 삼성전자, TSMC, 인텔 등이 있으며 중국에서는 SMIC가 유일하다.
중국 기업들은 미국의 반도체 장비 수출 규제가 이뤄지기 전 도입된 ASML의 노후한 장비를 활용해 최첨단 반도체를 개발하고 있다. 수율은 낮지만 미세화에는 진전을 보이고 있는 것으로 알려졌다. 화리는 7나노 반도체 제조 능력을 확보한 뒤 생산량을 늘려갈 방침이다.
이혜인 기자 hey@hankyung.com
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