표준연-日히타치 계열사, 주사전자현미경 공동연구

한국표준과학연구원과 일본 히타치하이테크놀로지스(HHT)는 21일 표준연에서 차세대 주사전자현미경 공동연구를 위한 업무협약(MOU)을 했다.

주사전자현미경은 전자현미경 안에서 전자빔을 관찰 대상에 쏴 확대된 영상을표시, 물질의 형태나 구성 원소, 정량 등을 분석하는 장비이다. 생물학, 반도체, 재료과학 등 분야에서 물질의 미세구조를 관찰하거나 측정할 때 쓰인다.

일본 HHT는 주사전자현미경 세계 매출 1위 기업으로, 1972년 전자현미경의 분해능을 획기적으로 높인 '전계방출현미경'이 미국전기전자학회(IEEE)로부터 가장 중요한 제품 가운데 하나로 선정되기도 했다.

표준연 첨단측정장비센터 오가와 타카시 연구팀은 지난해부터 HHT의 지원을 받아 주사전자현미경의 핵심 부품인 '전자빔 모노크로미터'(레이저 등 전자빔을 하나의 색으로 만드는 부품) 기초연구를 수행해왔다.

주사전자현미경의 상을 분석하려면 에너지를 낮춰야 하는데, 전자빔의 직경이높아지고 상의 해상도가 떨어지는 문제가 있었다.

이번에 개발한 모노크로미터로 전자빔을 필터링해 한가지 색으로 만들면 빔 직경이 줄어 분해능이 높아지기 때문에 정밀 관측이 가능하다.

조복래 표준연 첨단측정장비센터장은 "낮은 에너지 영역에서도 주사전자현미경공간 분해능을 높일 수 있는 기술"이라며 "신재료·반도체 장치 연구개발, 새로운생명현상 해명 등 다양한 분야에 활용할 수 있을 것"이라고 말했다.

jyoung@yna.co.kr(끝)<저 작 권 자(c)연 합 뉴 스. 무 단 전 재-재 배 포 금 지.>