주성엔지니어링은 액정표시장치용 플라즈마 강화 화학기상증착 장치의 샤워헤드 어셈블리에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.
주성엔지니어링은 반도체, FPD, 태양전지 장비의 경쟁력 강화를 위해 이 특허를 활용할 계획이다.
주성엔지니어링은 반도체, FPD, 태양전지 장비의 경쟁력 강화를 위해 이 특허를 활용할 계획이다.
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