"삼성·SK 중요한 고객"…ASM, 1억 달러 투자 [뉴스+현장]

글로벌 반도체 장비 기업 ASM이 1억 달러(약 1,350억 원)를 투자해 화성 동탄에 연구시설과 제조시설을 추가 설립한다.

ASM은 24일 오전 10시 경기도 화성시에서 '화성 제2제조연구혁신센터' 기공식을 개최했다. 벤자민 로 ASM CEO, 폴린 반데메르 모어 ASM 이사회 의장, 정명근 화성시장, 김완기 산업통상자원부 무역투자실장, 양장규 삼성전자 부사장, 이병기 SK하이닉스 부사장, 김용길 ASM 코리아 회장, 요아나 도너바르트 주한네덜란드 대사, 김태형 인베스트 코리아 대표 등 정부, 지자체, 유관기관 및 기업 대표 등 관계자 150여 명이 해당 기공식에 참석했다.

ASM은 첨단 반도체 제조에 사용되는 원자층증착(ALD) 장비 분야의 세계 1위 업체다. 원자층증착 장비는 웨이퍼에 원자 단위 깊이 산화막을 증착하는 장비다. ASM은 1989년 국내에 진출한 뒤 2019년 경기도 화성 동탄에 화성캠퍼스(제조연구혁신센터)를 설립해 관련 기술과 장비를 개발·생산하고 있다.

ASM은 2025년 완공을 목표로 화성캠퍼스 안에 제2제조연구혁신센터를 새로 짓는다. 이는 지난 2월 산업통상자원부와 체결한 1억 달러 투자 업무협약(MOU)에 따른 것으로, 완공되면 3만 1천㎡ 규모의 공간이 추가로 조성된다. 기존 캠퍼스 대비 R&D 면적은 2배, 생산 면적은 3배로 늘어난다. 제2 센터는 특히 ALD 종류 중 하나인 플라즈마원자층증착(PEALD) 제품 특화 공간으로 활용될 예정이다. ASM은 세계에서 유일하게 한국에서만 PEALD를 개발·생산하고 있다.

벤자민 로 ASM CEO는 기공식에서 "경기도 화성 시설은 한국 주요 고객에게 서비스를 제공하는 것 외에도 ASM 플라즈마원자층증착(PEALD) 사업을 위한 글로벌 센터이기도 하다"며 "원자층증착(ALD) 갭 필 기술과 같이 ASM 한국 R&D팀에서 개발한 기술은 전 세계에서 가장 발전된 반도체 제조에 필수적이다"라고 말했다.

그는 전날(23일) 국내 첫 기자간담회를 열고 "PEALD 장비는 D램과 낸드플래시뿐만 아니라 로직 칩 등 첨단 반도체에 모두 사용된다"며 "한국은 유일하게 PEALD를 생산하는 곳으로 그 수요가 늘고 있어 추가 증설을 결정했다"고 말한 바 있다. ASM은 PEALD를 비롯한 ALD 세계 시장 규모가 2020년 15억 달러에서 2025년 31억~37억 달러로 2배 이상 커질 것으로 보고 있다.

그러면서 "한국은 ASM에 있어 아주 중요한 시장"이라며 "한국의 삼성전자, SK하이닉스는 세계 10대 반도체 회사이면서 ASM의 가장 중요한 고객"이라고 강조했다. 또 향후 보다 긴밀한 협력 관계를 구축할 계획이 있냐는 기자의 질문에는 "당연히 있다"면서 "평소 삼성전자와 SK하이닉스 관계자들을 자주 만나고 굉장히 친밀한 관계를 유지해나가고 있다"고 덧붙였다.

한편, 이날 ASM은 향후 3년간 경기도 화성시인재육성재단에 1억 원을 기부한다고 밝혔다.