테스, 플라스마 처리장치 특허권 취득
(서울=연합뉴스) 임은진 기자 = 반도체 제조용 기계 제조업체 테스[095610]는 플라스마 처리장치 및 이를 이용한 탄소막의 증착 방법에 대한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
engine@yna.co.kr
(끝)
<저작권자(c) 연합뉴스, 무단 전재-재배포 금지>
(서울=연합뉴스) 임은진 기자 = 반도체 제조용 기계 제조업체 테스[095610]는 플라스마 처리장치 및 이를 이용한 탄소막의 증착 방법에 대한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
engine@yna.co.kr
(끝)
<저작권자(c) 연합뉴스, 무단 전재-재배포 금지>
관련뉴스
