테스, 기판 처리 방법 관련 특허 취득

[ 권민경 기자 ] 테스는 기판 처리 방법과 관련한 특허를 취득했다고 14일 공시했다.

회사 관계자는 "잔유물에 포함된 탄소 성분을 산화시킴으로써 잔유물 제거를 위해 반복해야하는 공정 횟수를 감소시킬 수 있다"며 "그 결과 생산효율을 향상시킬 수 있다"고 설명했다,

한경닷컴 권민경 기자 kyoung@hankyung.com



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