전량 수입 '반도체용 고온히터' 국산화

미코세라믹스가 전량 일본에서 수입해온 ‘반도체 화학기상증착(CVD) 장비용 고온히터’를 국내에서 처음으로 개발해 관심이 쏠리고 있다. 미코세라믹스는 경기 안성에 있는 반도체 장비용 부품 기업으로, 지난해 미코라는 회사로부터 물적분할해 반도체 장비 사업에 역량을 집중하고 있다.

산업통상자원부는 28일 미코세라믹스가 SK하이닉스와 업무협약을 맺고 반도체 CVD 장비용 고온히터에 관한 기술개발·성능평가·구매에 최선을 다해 협력할 것을 약속했다고 밝혔다. 이날 업무협약 자리엔 성윤모 산업부 장관이 참석했다.

성 장관은 “오늘 업무협약 같은 연대와 협력의 움직임이 우리 소재·부품·장비(소부장) 산업 생태계 전반으로 확산되고, 나아가 국내 제조업 성장으로 이어지기를 기대한다”고 말했다.

반도체 CVD 장비용 고온히터는 일본이 세계 시장의 95% 이상을 차지하고 있는 제품이다. 정부는 미코세라믹스가 이 제품 국산화에 성공하면서 국내 공급 기반을 확보하고 나아가 수출도 가능할 것으로 기대하고 있다.

미코세라믹스는 420억원을 투자해 연간 3000개의 반도체 CVD 장비용 고온히터를 생산할 수 있는 공장을 짓고 있다. 공장은 다음달 25일께 준공될 예정이다. 미코세라믹스는 연 800억원의 매출을 이 공장에서 올릴 것으로 내다보고 있다.

정부는 2019년 7월 일본의 수출 규제 발표 한 달 뒤부터 ‘소부장 경쟁력 강화 대책’을 마련하고 자체 기술 확보가 필요한 분야에 자금을 투입해왔다. 산업부는 적극적인 지원 결과 매출 2151억원, 투자 3826억원, 고용 385명, 특허 출원 271건 등을 올리는 성과가 있었다고 밝혔다.

정의진 기자