필옵틱스, 유리기판 핵심 'TGV' 검사 장비 개발

반도체·디스플레이 장비 전문 업체 필옵틱스가 유리기판의 미세 가공 품질을 확인하는 ‘TGV(Through Glass Via) 검사장비’를 새롭게 개발했다고 30일 밝혔다. 앞서 TGV, 싱귤레이션 등 유리기판 관련 4가지 장비를 내놓은데 이어 제품 라인업을 강화했다.

TGV는 유리기판에 미세한 전극용 홀을 가공하는 공정으로, 고도의 정밀도가 요구된다. 이번에 개발된 검사장비는 해당 공정이 제대로 수행됐는지 확인하는 역할을 한다.

이번 장비는 유리기판에 수십만에서 수백만 개에 이르는 홀을 빠르고 정밀하게 검사할 수 있는 것이 특징이다. 기존에는 홀 상·중·하단을 각각 따로 촬영해야 했지만, 필옵틱스는 한 번의 촬영으로 전체를 분석할 수 있는 기술을 적용해 효율성을 높였다. 특히 홀을 비스듬히 촬영해 입체적인 2.5D 이미지를 구현하는 방식으로 정밀도를 크게 개선했다.

이미지 생성에서도 고도화된 기술을 반영했다. 유리기판 한 장 안에 생성되는 홀 수는 적게는 수십만개, 많게는 200만개에 달한다. 이 때문에 검사 과정에서 생성되는 데이터는 장당 최대 700GB에 달할 만큼 방대하다. 필옵틱스는 빅데이터 처리 기술을 활용해 자동으로 불량 여부를 시각화하고 판별할 수 있도록 설계했다.

필옵틱스는 이번 검사장비 개발로 유리기판 장비 라인업을 기존 4종에서 5종으로 확대했다. 회사 측은 TGV 가공장비와 검사장비의 연계로 수주 시너지를 기대하고 있다. 이를 통해 유리기판 가공 장비 시장에서의 경쟁력을 한층 강화할 계획이다.

필옵틱스 관계자는 "지난해에 이어 올 들어서도 유리기판 가공 장비를 고객사에 출하한 실적을 올리고 있다"며 "다각화된 제품 라인업을 기반으로 유리기판 가공 장비 산업에서 확고한 지위를 굳혀 나갈 것"이라고 말했다.

황정환 기자 jung@hankyung.com