청주, 반도체 가스 품질·안전센터 구축

충북 청주시가 반도체 핵심 소재인 특수가스의 품질·안전 평가 기반을 마련하는 등 반도체 산업 경쟁력 강화에 나선다. 반도체 공정의 기술 자립과 공급망 안정화를 뒷받침하는 인프라를 확충해 오창을 중심으로 한 소재·부품·장비 산업 생태계를 고도화한다는 구상이다.

청주시는 산업통상자원부 공모사업에 선정된 ‘반도체 가스 품질·안전 평가지원센터 구축사업’을 본격 추진한다고 6일 밝혔다. 사업에는 국비 100억원을 비롯해 도비와 시비 80억원, 민간 투자 50억원 등 총 230억원을 투입해 2030년까지 추진한다. 청원구 오창과학산업단지에 들어서는 지원센터는 연면적 1320㎡, 지상 2층 규모로 조성된다. 센터는 반도체 특수가스의 정밀 품질분석과 독성·안전성 평가, 시험인증 체계 구축을 담당하며 기초 품질·안전성 평가 장비 30종을 구축한다. 시험평가와 분석·인증 지원, 표준 매뉴얼 마련, 기술협력 네트워크 조성도 함께 추진한다.

최근 인공지능(AI) 고성능 컴퓨팅(HPC)과 첨단 패키징 시장이 빠르게 성장하면서 초미세 공정에 필요한 고순도 특수가스 수요가 늘고 있다. 이에 따라 고순도 분석과 미량 불순물 평가, 공정 적합성 검증 등 정밀 품질평가의 중요성도 커지고 있다.

청주=강태우 기자 ktw@hankyung.com