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"테라세미콘, 하반기 V자형 성장 기대"-현대 2014-07-14 08:22:27
반도체 ald(원자층증착) 장비를 글로벌 반도체 업체와 공동개발을 지속해오고 있다.김 애널리스트는 "올 하반기 반도체 ald 장비 신규공급 가능성이 커지고 있어, 앞으로 테라세미콘은 연간 3000억원 규모의 반도체 ald 장비 시장에서 국산화를 주도할 것"이라고 말했다.한경닷컴 김다운 기자 kdw@hankyung.com...
주성엔지, 세계 최초 시공간 분할 플라즈마 화학증착기 개발 2014-05-21 11:59:20
및 원자층증착(ald)뿐만 아니라, 질화(nitridation), 산화(oxidation), 도핑(doping)과 금속(metal)전극 증착 기능 등 다양한 공정 대응이 가능하다는 설명이다. 특히 차세대 반도체공정의 효율성을 극대화하기 위해 새로운 공정개발에 공을 들였다. 또 최대 10개까지 싱글 챔버를 통합할 수 있도록 제작돼 단위 시간당...
눈·비 맞아도 물방울 안맺히게 '초친수성' 원리 찾아냈다 2014-04-20 21:48:08
원자힘현미경을 이용해 빛을 흡수할 때 이산화티타늄 표면에 생기는 흡착물층을 발견했다. 원자힘현미경은 미세탐침과 시료 표면 사이에 생기는 원자 간 상호작용력을 측정해 시료 표면의 구조적, 전자기적 특성을 형상화할 수 있는 장치다. 연구팀은 이산화티타늄 표면의 전자들이 공기중 물분자와 상호 작용하면서 얇은...
그래핀 멤브레인, 꿈의 신소재 “물, 기체 극한의 효율로 투과가능” 2014-04-18 17:00:52
원자층 물질로 강도와 신축성 등이 뛰어나 멤브레인의 미래 소재로 주목받고 있다. 멤브레인은 액체 또는 기체의 특정 성분을 선별적으로 통과시켜 혼합물을 분리할 수 있는 액체막 또는 고체막으로 필터역할을 한다. 그래핀 멤브레인을 활용하면 물의 투과 특성이 기존 수처리 멤브레인 대비 5~7배, 증기 투과특성을 기존...
LG전자 `그래핀 멤브레인` 연구 논문, 미국 사이언스지 게재 2014-04-18 15:48:52
원자단위로 얇은 그래핀 멤브레인의 극한 투과 특성)이 세계적인 학술지 미국 ‘사이언스(Science)’에 18일 소개됐습니다. LG전자와 스위스 연구진은 그래핀을 이용한 다양한 응용 분야 중에서도 수처리 및 공기정화를 위한 소재원천기술 확보를 위해 ‘그래핀 멤브레인’ 연구를 진행했습니다. 그래핀은 탄소로 이루어진...
삼성·성균관대, 성능 균일한 '단결정 그래핀' 생산 기술 세계 최초 개발 2014-04-04 03:15:23
성격과 같이 원자 배열이 규칙적이지 않은 다결정 형태였다. 그래핀 고유의 전기전도도와 기계적 강도를 저하시켜 응용에 한계가 있었다. 연구팀은 금속 기판 대신 게르마늄 기판을 이용해 단결정 그래핀을 합성하는 데 성공했다. 한쪽으로만 방향성을 갖는 게르마늄 기판을 사용해 같은 성격의 단결정 그래핀을 만들었다....
꿈의 신소재 `그래핀`‥국내 연구진 실용화 `성큼` 2014-04-04 03:00:00
그래핀은 탄소로 이뤄진 단일 원자층 물질로 기계적 강도와 신축성 등이 뛰어나 차세대 전자소자 등에 활용될 수 있는 신소재로 주목받고 있습니다. 기존의 그래핀 다결정으로 합성하는 `대면적 합성방식`은 그래핀의 전도도나 기계적 강도를 저하시킬 수 있어 응용에 한계가 있었습니다. 연구팀은 단결정 그래핀 합성에...
나노기술분야 국제학술지 창간 2014-03-23 21:45:16
at high bias)을 실었다. 그래핀은 탄소 원자들이 육각형 격자 구조의 얇은 층으로 배열된 물질로 구리보다 전기 전도성이 뛰어나고 강철보다 강도가 높아 꿈의 신소재로 불린다. 김 교수는 그래핀 관련 연구를 대표하는 학자다. 이번 창간호 작업에는 국내 나노과학기술 분야 대표 연구자, 세계 10여개국 55명으로 구성된...
주성엔지니어링, SK하이닉스와 SDP 시스템 장비 공급계약 체결 2014-03-20 16:04:10
반도체 제조의 핵심인 ALD(원자층증착) 공정을 위해 주성엔지니어링이 개발한 차세대 전략 제품입니다. 신개념 플라즈마 기술이 적용된 SDP System은 ALD 고유전체막, 절연체막, 전도체막 증착 뿐만 아니라 Nitridation, Oxidation, Doping과 막(Film)간 트리트먼트 기능 등을 갖추고 있습니다. 주성엔지니어링 측은 이...
초정밀 원자시계 개발 유대혁 표준硏 시간센터장 "1억년에 0.92초 오차…정확도 1000배 높여" 2014-02-23 21:46:47
그 속에 원자를 가두는 방식이다. 그런 뒤 이터븀과 고유 진동수가 같은 강한 레이저를 만들어 원자에 쏘면 고유 진동수를 측정할 수 있다. 수헤르츠(㎐)까지 변동 없이 진동하는 초미세 선폭 레이저를 개발하는 게 핵심인데 개발 경험이 없다 보니 시행착오도 많았다. 2011년에는 몇 달에 걸쳐 실험실을 통째로 옮기기도...
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