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세메스, 파운드리향 '고온 매엽인산' 세정장비 개발 2025-01-22 17:05:39
매엽인산 세정장비(모델명 블루아이스 프라임)를 신규 개발했다고 22일 밝혔다. 세메스는 지난해 메모리에 이어 파운드리향 2나노 이하 초미세 공정대응 고온 매엽인산 세정장비를 개발함으로써 일본의 경쟁사 대비 세계 최고 수준의 공정능력을 확보하게 됐다. 이 장비는 배치타입 인산 약액보다 고온의 인산을 반도체...
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삼성 반도체 세정 핵심기술…중국으로 빼돌린 일당 재판 2023-01-16 18:27:57
개발한 매엽식 인산 세정장비 제작기술도 빼온 것으로 확인됐다. 매엽식 인산 세정장비는 인산 약액을 사용해 반도체 웨이퍼 한 개씩을 세정하는 장비다. 이들은 여기에 그치지 않고 세메스의 기술을 해외로도 빼돌렸다. A씨와 B씨는 2021년 6월 C씨로부터 세메스가 세계 최초로 개발·양산한 초임계 반도체 세정장비의...
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이재용 방문해 격려까지 했는데…반도체기술 中에 유출한 일당 '기소' 2023-01-16 16:05:57
일본에 이어 세계 2번째로 개발에 성공한 '매엽식 인산 세정 장비 기술' 정보를 자신이 운영하는 회사 직원들에게 누설한 혐의도 받고 있다. 인산 세정 장비는 인산 약액을 사용해 반도체 웨이퍼를 1개씩 세정하는 장비다. 웨이퍼 표면에 남아있는 실리카 등을 제거하는 데 쓰인다. 이 장비 개발을 성공한 곳은 전...
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"최소 350억 손해"…'삼성 반도체' 세정기술 해외 빼돌린 일당 2023-01-16 10:30:01
개발한 매엽식 인산 세정장비 제작기술도 빼온 것으로 확인됐다. 매엽식 인산 세정장비는 인산 약액을 사용해 반도체 웨이퍼 1개씩을 세정하는 장비다. 이들은 여기에 그치지 않고 세메스의 기술을 해외로도 빼돌렸다. A씨와 B씨는 2021년 6월 C씨로부터 세메스가 세계 최초로 개발·양산한 초임계 반도체 세정장비의 핵심...
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