티로보틱스가 반도체 유리기판 이송용 진공로봇 관련 기술의 일본 특허 등록을 마쳤다는 소식 이후 주가가 28일 장 초반 급등세다.
이날 오전 9시54분 현재 티로보틱스는 전 거래일보다 1510원(8.54%) 오른 1만9200원을 기록하고 있다. 장 초반 28%대까지 상승폭을 키우기도 했다.
티로보틱스는 이날 '진공 챔버 내에서 기판을 이송하는 장치'에 대한 일본 특허 등록을 완료했다고 밝혔다. 반도체 유리기판 공정 환경에 최적화된 진공로봇 기술과 관련한 특허다. 앞서 티로보틱스는 지난해 반도체대전(SEDEX 2025)에서 유리기판 이송용 진공로봇을 공개한 바 있다.
고정삼 한경닷컴 기자 jsk@hankyung.com
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