반도체 실리콘 소재·부품 업체 씨엠티엑스(CMTX)가 차세대 식각 공정에 쓰이는 600㎜ 초대구경 단결정 실리콘 잉곳 양산에 성공했다. 반도체 핵심 소재인 실리콘 잉곳의 단위 면적이 기존 대비 최대 네 배가량 커지면서 원가 경쟁력이 큰 폭으로 개선될 것으로 기대된다. CMTX는 내년 구미 신공장을 가동해 생산능력을 기존의 두 배가량으로 키울 계획이다.
◇600㎜ 실리콘 잉곳으로 부품 첫 생산
CMTX는 19일 자회사 셀릭이 직경 600㎜ 단결정 실리콘 잉곳 성장 기술을 확보했다고 밝혔다. 반도체 애프터마켓 업체 중 600㎜ 단결정 잉곳을 직접 생산하는 것은 CMTX가 처음이다. 실리콘 잉곳은 반도체 웨이퍼와 반도체 공정용 부품 등을 만드는 핵심 원재료다. 실리콘 잉곳을 대구경으로 만들면 원가가 하락하고 생산성이 높아지지만, 제조 과정의 난도와 생산 비용이 반대 급부로 증가한다. 그동안 실리콘 부품업체들이 600㎜ 잉곳을 대량 생산하지 못한 주된 요인이다. CMTX가 생산하는 600㎜ 실리콘 잉곳은 기존 300~400㎜급 잉곳보다 직경이 50~100% 길어 한 번에 더 많은 부품을 생산할 수 있다. 잉곳 직경이 두배 길어지면 넓이는 4배 커진다.CMTX가 대구경 실리콘 잉곳을 단결정으로 제조하는 것도 의미가 크다. 첨단 미세공정에선 내구성이 뛰어나고 오염 물질 발생 빈도가 낮은 단결정 수요가 늘고 있어서다. CMTX 관계자는 “직경 600㎜급 단결정 잉곳을 균일한 품질로 성장시키는 것은 기술 난도가 높아 연구개발 경쟁이 치열하다”고 말했다.
◇年 매출 두 배씩 고속 성장
CMTX는 실리콘 잉곳으로 반도체 식각 공정용 실리콘 부품을 주로 생산한다. 반도체 장비가 설치된 후 반도체 팹(공장)에 소모성 부품과 소재를 공급하는 애프터마켓이 주된 시장이다. 2013년 코마테크놀로지로 출발한 CMTX는 2021년 실리콘 잉곳 사업에 진출한 후 2024년 현재 사명으로 변경했다. 매출은 2022년 186억원에서 지난해 1606억원으로 3년 동안 연평균 두 배 이상으로 증가했다. 지난해 영업이익률은 32%로 반도체 소부장 업계 최고 수준이다.CMTX는 사업 포트폴리오를 적극적으로 확대하고 있다. 식각·증착·확산 공정 등에 사용되는 쿼츠 부품은 형상 가공부터 세정까지 전 공정을 내재화했다. 쿼츠는 웨이퍼를 지지하거나 고온·고부식성 화학물질로부터 장비 내부를 보호하는 핵심 소재다. 반도체 선단 공정에서 활용이 늘고 있는 화학기상증착 실리콘카바이드(CVD-SiC) 부품 생산라인도 내년 상반기 구축할 계획이다.
생산능력도 키우고 있다. CMTX는 현재 경북 구미 공장에 약 600억원을 투자해 신공장을 건설하고 있다. 내년 공장이 본격 가동되면 생산능력은 현재보다 두 배 이상으로 늘어난다. CMTX는 연구·개발(R&D)에도 공격적으로 투자한다. 현재 CMTX 직원 중 R&D 인력 비중이 20% 이상이다. 내년까지 관련 인력을 두 배 늘릴 계획이다.
박종화 CMTX 대표는 지난 14일 CMTX 구미 공장에서 개최한 기자 간담회에서 “반도체 팹은 기본적으로 장비업체에 얽매이지 않으려는 속성을 지니고 있다”며 “반도체 애프터마켓 시장은 시간이 갈수록 커질 것”이라고 강조했다. 이어 “애프터마켓이 반도체 공정 혁신을 함께 이끄는 시장으로 성장할 것”이라고 전망했다.
구미=이광식 기자 bumeran@hankyung.com
관련뉴스
