청주 오창에 차세대 EUV 소재 공장 준공

충북 청주 오창에 반도체 초미세 공정에 쓰이는 차세대 극자외선(EUV)용 핵심 소재 생산공장이 들어섰다. 충북도는 일본계 외국인투자기업 JSR마이크로코리아가 30일 청주 오창 외국인투자지역에서 차세대 반도체 소재 생산공장 준공식을 열었다고 밝혔다.

이번 준공으로 JSR마이크로코리아는 차세대 EUV용 포토레지스트인 금속산화물레지스트(MOR)의 국내 생산체계를 갖췄다. MOR은 EUV 노광공정에서 웨이퍼에 미세한 회로 패턴을 형성하는 소재다. 기존 소재보다 EUV 흡수 특성이 뛰어나 반도체 초미세화에 대응할 핵심 소재로 꼽힌다. 오창 공장은 JSR이 세계 최초로 구축한 EUV용 MOR 생산거점으로, 최종 생산공정을 담당한다.

JSR마이크로코리아는 일본 글로벌 소재기업 JSR의 한국법인으로, 2003년 오창에 설립돼 디스플레이 소재 사업을 해왔다. 모기업 JSR은 2021년 미국 인프리아(Inpria)를 인수한 뒤 MOR 사업화를 추진해왔다. 회사는 오창 공장을 기반으로 국내 주요 반도체 기업의 수요에 신속히 대응하고, 현지 생산과 품질보증 역량을 강화할 계획이다.

청주=강태우 기자 ktw@hankyung.com