세미머티리얼즈, SiC 코팅 장비 국산화 성공

입력 2012-03-23 15:12  

태양광 장비와 LED 제품 생산업체인 세미머티리얼즈가 국내 최초로 대용량 SiC 코팅 장비를 개발했습니다.

SiC코팅 기술은 흑연소재에 일정한 두께의 탄화규소막을 형성시킴으로써 고순도 공정이 필요한 반도체나 LED 칩 등을 생산하는 과정에서 불순물이 제품으로 들어가는 것을 방지할 수 있는 기술입니다.

세미머티리얼즈는 "기존에 미국, 일본, 독일, 프랑스 4개의 국가에서만 보유하고 있던 기술을 국산화에 성공하면서 수백억원의 수입대체 효과를 기대할 수 있을 것"이라고 말했습니다.

또 "현재 폴리실리콘 최대 생산국이기는 하나 순도 컨트롤에 있어 여러 문제가 있는 것으로 알려진 중국에게 솔루션 제공을 할 수 있는 기회가 많아 질 것"이라고 기대했습니다.

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