로보스타는 9일 웨이퍼 이송장비와 관련 특허를 취득했다고 공시했습니다.
이 장비는 웨이퍼의 위치를 인식하고 흡착해 정해진 위치로 정확하게 정렬시키며 웨이퍼들을 각각의 위치에 정렬시키는 과정에서 얇은 웨이퍼가 손상 또는 파손되는 것을 방지하는 기술이라는 게 회사설명입니다.
이 장비는 웨이퍼의 위치를 인식하고 흡착해 정해진 위치로 정확하게 정렬시키며 웨이퍼들을 각각의 위치에 정렬시키는 과정에서 얇은 웨이퍼가 손상 또는 파손되는 것을 방지하는 기술이라는 게 회사설명입니다.
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