블루테크코리아, 탄소섬유(CFRP)로 웨이퍼 이송용 로봇 엔드이펙터 제작 공급

탄소섬유강화 복합재(CFRP)는 가벼우면서도 높은 내구성 및 기계적 특성을 지녀 가장 주목받는 신소재 중 하나로써 그 사용 분야가 점차 확대되고 있다.

블루테크 코리아는 이러한 탄소섬유 복합재를 활용해 진공 그립의 Wafer 이송용 플립의 핸드 (End Effector, 엔드이펙터)를 디자인 개발해 공급하고 있다.

웨이퍼 이송용 핸드(End Effector)는 그 용도에 따라 다양한 형상과 재질로 구성되어 있으며, 용도에 따라 진공 패드가 있는 형태도 있다. 재질은 알루미늄, 스테인리스 스틸과 세라믹을 사용 하는 것이 일반적이나 알루미늄은 강성이 취약하고 스틸 계열은 무거워 로봇에 부담이 커서, 진동이나 강성이 좋은 세라믹을 많이 사용하고 있다. 하지만, 충돌 시 파손의 위험이 크고 파편으로 챔버를 오염시킬 수 있는 큰 단점이 있었다.

반면, CFRP로 제작하면, 스틸 소재 못지 않은 강성에 경량 소재인 알루미늄 소재 대비도 약 30% 무게를 줄일 수 있어, 반복 이송에 있어 로봇의 부담을 크게 경감할 수 있다.

블루테크 코리아는 이에 대한 기술력을 기반으로 요청 업체의 니즈에 맞는 엔드이펙터를 제작 공급할 계획이다.