한화세미텍, TC본더 특허소송 맞불…한미반도체 "적반하장"

고대역폭메모리(HBM) 필수 제조 장비인 TC본더를 둘러싼 한미반도체와 한화세미텍 간 공방이 맞소송으로 번졌다.

28일 업계에 따르면 한화세미텍은 최근 TC본더의 핵심 기술과 관련해 특허권을 침해받았다며 한미반도체를 상대로 소송을 냈다.

앞서 지난해 말 한미반도체가 한화세미텍을 상대로 TC본더 특허권 침해 소송을 낸 바 있는데, 한화세미텍이 약 1년 만에 맞불을 놓은 것이다.

TC본더는 인공지능(AI) 반도체용 HBM을 제조하는 데 필요한 핵심 장비다.

HBM은 D램을 여러 개 쌓아 올리는 방식으로 만드는데, D램에 열과 압력을 가해 고정하는 공정에 TC본더가 쓰인다.

한화세미텍은 이번 소송에서 한미반도체의 HBM3E용 TC본더에 탑재된 부품 일부를 문제로 삼은 것으로 전해졌다.

한화세미텍 관계자는 "진행 중인 소송으로 구체적인 내용을 밝히기는 어렵다"면서도 "장비의 핵심 기술 보호와 기술 탈취 및 도용 등 불법 행위에 대한 강력 대응 차원에서 이번 특허 침해 소송을 제기했다"고 설명했다.

양사 모두 SK하이닉스를 주요 고객사로 두고 있는 만큼 소송 결과에 따라 향후 경쟁 구도에도 영향이 있을 것으로 전망된다.

이와 관련 한미반도체는 "이번 소송은 사실에 근거하지 않은 적반하장 소송"이라며 "법적 절차를 통해 정당한 권리를 보호하고, 앞으로도 기술 혁신과 고객 신뢰를 최우선으로 하겠다"고 밝혔다.