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극심한 한파에 '아픈 건물 증후군' 급증 2013-02-12 09:53:05
이상 판매되면서 인기를 끌었다. 이 제품은 플라즈마 이온을 발생시켜 공기 중에 떠다니는 각종 세균과 미세 먼지 제거해주는 ‘이온 청정 모드’를 장착해 가습 기능을 작동하지 않고 공기 청정 기능만 단독으로 사용할 수 있다. 원터치 4시즌 모드’를 사용하면 실내 습도가 40% 이하일 때는 가습을, 60% 이상일 때는...
참엔지니어링, 기판 처리장치 특허 취득 2013-01-31 11:02:50
에너지 및 플라즈마 밀도가 높은 공진 플라즈마를 이용, 종래에 비해 기판처리 공정 속도를 향상시키며 기판으로 입사 또는 충돌하는 이온 에너지를 조절해 기판 또는 박막에 대한 손상을 줄일 수 있는 특허"라고 설명했다.한경닷컴 오정민 기자 blooming@hankyung.com ▶ 싸이 ཉ억 저택' 미국에 숨겨뒀다 들통나▶...
주성엔지니어링, 세미콘코리아 2013에 차세대 장비 선뵈 2013-01-30 16:27:01
공개했다고 전했습니다. 특히, 공간분할 플라즈마 화학증착기(Space Divided Plasma Chemical Vapor Deposition, SDP CVD) 장비는 기존 장비로는 400도 이하의 낮은 온도에서 고품질의 막을 제공할 수 없었던 단점을 극복한 세계 최초의 신개념 장비라고 회사는 설명했습니다. 주성엔지니어링은 이번에 공개한 장비에...
주성엔지니어링, 세미콘코리아서 반도체 장비 신기술 선봬 2013-01-30 15:29:59
출품했다. 공간분할 플라즈마 화학증착기가 대표적이다. 이 장비는 400도 이하의 저온에서 고품질 막을 제공하지 못한 기존 장비의 단점을 극복했다는 게 회사 측 설명이다. 차세대 메모리 반도체로 불리는 m램 공정에서 마그네틱 패턴을 형성하는 플라즈마 식각장비 ‘제니스’(zenith)도 눈에 띈다. 종전 식각 장비로는...
[신재생에너지, 현재와 미래] 광운대 산학협력단, 低價 고효율 태양전지 생산 장비 국산화 초점 2013-01-20 10:05:59
플라즈마 전류를 웨이퍼 내부로 통과시키고, 여기서 발생되는 열과 전류를 이용해 태양전지 기본구조인 p-n을 접합하는 장치다. 태양전지 원가절감에 기여하고, 기존 공정에 사용되는 레이저 장비 없이도 대기압 플라즈마 폭 및 강도 조절을 통해 선택적 도핑이 가능하다는 게 장점이다. 인라인 방식으로 제작이 가능해...
[유가증권 기업공시] (9일) 금호석유화학 등 2013-01-10 05:46:00
검토. ▲참엔지니어링=플라즈마 처리장치 관련 미국 특허 취득. ▲한전kps=인도 업체로부터 909억원 규모 화력발전 공사 수주. ▶ 고영욱, 18세女에 "우리, 밤에 은밀하게…" 충격 폭로▶ 유명女배우, 생방송 중 ཏ금 성행위' 돌발 행동…'경악'▶ 20대男 "부킹女와 모텔 갔지만…" 반전에 충격▶ 女교사,...
참엔지니어링, 플라즈마 처리장치 美 특허 취득 2013-01-09 14:15:04
참엔지니어링은 플라즈마 처리 장치 및 처리 방법 관련 미국 특허를 취득했다고 9일 공시했다. 회사 측은 "기판 후면에서 가장자리를 지지하는 기판 홀더와 기판 홀더를 이동시키는 이동 부재를 구비해 기판 후면 식각 공정 및 베벨 식각 공정을 한 장치에서 연속적으로 실시, 생산비와 시간을 줄일 수 있는 특허"라며 "이...
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