알에프피티(대표 이동헌)는 플라스마용 고출력 전력발생장치 연구 전문가인 이동헌 대표가 2010년 전량 수입에 의존하는 반도체 장비 산업의 핵심 부품에 대한 국산화를 위해 창업했다. 안양에 본사, 수원에 반도체디스플레이 R&D 센터와 공장을 두고 있다
알에프피티는 세계 최초의 기술을 잇따라 탄생시켰다. 2016년 가속기용 X-밴드 1kW SSPA를 세계 최초로 개발해 미래창조과학부 장관상을 수상했다. 이 부품은 세계 최고 수준인 포항 4세대 방사광가속기의 부품으로 납품돼 회사의 기술력을 세계적으로 인정받았다.
회사는 2018년 반도체 장비용 RF 필터 및 TTMS를 본격 양산하면서 고성장기에 진입했다. 국내 최초로 E-클래스 고출력 전력전달 장치를 개발했고 디지털 매칭 알고리즘의 국산화도 이뤄냈다. 최근에는 방산산업 분야에서도 초고성능 기술개발에 성공해 방산용 RF 전력증폭기 시제품을 한화시스템에 납품했다.
알에프피티는 100단 이상의 3D 낸드(Nand)용 증착 장비에 RF 핵심 부품을 양산 적용한 국내 유일의 기업이다.
알에프피티는 요즘 한국산업기술기획평가원의 ATC+ 사업 지원으로 차세대 반도체 3D 적층형 장비의 RF 핵심전력 매칭 시스템 부품을 개발하고 있다. 2027년 반도체 공정장비용 VHF 플라스마 전력시스템 양산이 목표다. 초미세 반도체 공정장비용 플라스마 전력시스템 설계개발 기술을 확보하고 있어, 이온 에너지 감소로 인한 웨이퍼 손상 최소화와 이온 밀도 증가로 인한 단시간 적층기술이 요구되는 이 시스템 개발에 가장 선도적인 기업이다.
회사 관계자는 “반도체 장비의 효율을 높이기위해서는 주파수를 올리는 것이 관건”이라며 “27~60MHz의 플라스마 전력시스템 개발에 전력을 기울이고 있다”고 말했다. 알에프피티는 첨단 기술력확보를 위해 연구개발에 전력을 쏟아 반도체 시장 정체기에도 170억~180억원대의 매출을 기록하며 성장세를 이어왔다. 특히 수출은 2022년 9억원(매출의 5%)에서 지난해 25억원(매출의 22%)까지 높아졌다. 해외 기관과의 협력을 지원하는 ATC+사업 해외트랙을 통해 국제협력을 강화한 덕분이다.
이동헌 대표는 “창업 때부터 반도체 공정용 RF핵심부품의 국산화에 노력해왔다”며 “끊임없는 R&D투자와 기술개발로 AI를 포함한 세계 첨단기술의 진정한 리더로 도약하겠다”고 강조했다.
김해연 기자 haykim@hankyung.com
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