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세포·혈액 흐름 동시에 관찰…신개념 '광학현미경' 나왔다 2020-09-04 17:37:02
빛(전자빔, 자외선 등)을 이용하는 것이다. 개구수는 렌즈에 입사하는 빛의 최대 각도의 사인(삼각함수)값과, 측정 대상과 렌즈 사이 매질의 굴절률을 곱해 산출한다. 광학현미경은 개구수를 높이는 데 한계가 존재한다. 가시광선의 회절 현상 때문이다. 직진하는 빛이 좁은 틈을 통과한 뒤 일정 방향과 범위로 넓게 돌아...
[사이테크 플러스] 원자 수준 관찰 가능한 양자광학용 나노안테나 개발 2020-09-03 02:00:00
쓰이는 포토레지스트와 전자빔 리소그래피 기법에 '도미노' 놀이에서 얻은 영감을 결합, '연속 도미노 리소그래피' 기술을 개발하고 이를 이용해 나비넥타이(bowtie) 형태의 광 집속 나노안테나를 제작했다. 연속 도미노 리소그래피는 빛 또는 전자빔에 노출된 부분의 화학적 특성이 변하는 고분자 재료인...
치매·파킨슨병 치료 길 열리나…'단백질 접히는 과정' 알아냈다 2020-07-24 17:39:38
뒤 전자빔을 쏴 3차원 고해상 이미지를 출력하는 장비다. 이 현미경 사용 시 관건은 적절한 형태의 시료를 설계하는 것이다. 연구팀은 단백질 접힘 과정을 20밀리초(㎳: 1㎳=1000분의 1초)에서 1500㎳까지 제어할 수 있는 특수 칩을 개발했다. 이를 초저온전자현미경에 넣고 관찰해 1나노미터(㎚: 1㎚=10억분의 1m) 이하...
KLA, 전자빔 패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템 발표 2020-07-21 14:57:25
KLA Corporation(NASDAQ: KLAC)은 혁신적인 eSL10™ 전자빔 패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템(e-beam patterned-wafer defect inspection system)을 개발했다고 발표했다. 이 새로운 시스템은 기존의 광학 장비 또는 다른 전자빔 결함 검사 플랫폼으로는 검출할 수 없는 결함을 검출하고 보고함으로써 극자외선 (EUV)...
주사전자현미경 세계 '빅4' 아성 흔든 엠크래프츠 2020-07-09 17:31:33
부품이 들어가는 SEM의 핵심 제작기술은 전자빔을 만드는 전자가속 기술을 구현할 수 있느냐에 달려 있다. 우주왕복선의 이온엔진, 입자가속기 등에 적용되는 기술이다. 70~100년 가까운 역사를 지닌 미국 FEI, 독일 자이스, 일본 히타치와 JEOL 등이 시장을 장악해온 배경이다. 기초과학의 불모지나 다름없는 한국에서 한...
삼성·TSMC 'EUV 혈투'에 웃는 일본 기업들 [정영효의 인사이드 재팬] 2020-07-07 12:53:26
반도체 회로가 만들어진다.)에 전자빔으로 패턴을 그리는 장비는 일본전자와 도시바 계열사인 뉴플레어테크놀로지가 세계 시장을 양분하고 있다. 반도체 장비는 일본, 반도체 제조는 한국 삼성전자와 SK하이닉스가 나눠 맡으며 상생하는 구도가 만들어진 것도 이 때문이다. 지난해 7월부터 일본 정부가 반도체 핵심소재의...
치아 법랑질의 '원자 세계', 처음 비경(秘境)을 드러내다 2020-07-02 16:05:13
했다. 전자빔을 물질에 조사해 원자 구성을 알아내는 첨단 기기다. 관찰 결과, 치아 법랑질은 인간 머리카락의 1천분의 1 굵기에 불과한 장방형 결정으로 구성됐다. 촘촘한 다발 같은 이 결정의 주성분은 칼슘과 하이드록실 아파타이트((hydroxylapatite)였다. 하이드록실 아파타이트((hydroxylapatite)는 인(phosphate)을...
원자와 분자, 세계에서 가장 빠르고 밝게 측정 가능해졌다 2020-04-13 10:45:15
위해 분자에 자극을 주는 레이저 펄스와 전자빔을 쏜다. 극소 공간에 누적된 이 이미지를 이어붙이면 원자 운동을 나타내는 영상이 나온다. 그런데 원자의 구성분인 전자는 서로 강하게 밀치는 힘이 있어 극소 공간에 모으기가 어렵다. 대부분 연구진은 전자들이 덜 퍼지게 하기 위해 전자빔이 시료에 닿는 시간을 최소화할...
탄소나노튜브 관찰 쉬워진다…UNIST, 소금 결정 활용 기술 개발 2020-03-05 17:59:34
광학현미경으로 관찰하기 어렵다. 전자빔을 이용한 전자현미경이나 원자 사이 힘을 이용한 원자힘 현미경 등으로 관찰할 수 있지만, 사용 방법이 까다롭거나 관찰할 수 있는 면적에 제한이 있었다. 연구팀은 소금을 이용해 이런 한계를 극복했다. 1차원으로 정렬된 탄소나노튜브에 소금물을 떨어뜨린 후 전기장을 가하면...
미국 과학자들, 코로나19 바이러스 3D 원자 지도 만들어 2020-02-20 11:10:50
코로나바이러스가 인간의 면역 체계에 탐지되는 것을 피하기 위해 이용하는 당(糖) 분자 사슬의 크기와 위치를 보여준다는 점에서도 중요하다"고 덧붙였다. 이번 연구에 이용된 극저온 전자현미경은 전자빔을 이용해 냉동 상태로 보존된 생체 분자의 원자 구조를 보여주는 기기이다. 이 기술을 개발한 3명의 과학자는...