ASML, 경기 화성 클러스터 조성에 2,400억원 투자
문승욱 산업통상자원부 장관이 국내 대규모 투자를 결정한 네덜란드 반도체 장비업체 `ASML`의 피터 베닝크 CEO를 만나 감사의 뜻을 전하며 국내 기업들과의 협업 강화를 당부했다.
산업통상자원부는 문 장관이 오늘(18일) 오전 경기도 화성 ASML 코리아 본사에서 방한 중인 피터 베닝크 CEO를 만나 최근 반도체 업황과 기술동향, 공급망 이슈와 국내 기업들과의 협력 강화 방안 등을 논의했다고 밝혔다.
이어 ASML이 오는 2025년까지 2,400억 원을 투자해 경기도 화성에 극자외선(EUV)·심자외선(DUV) 노광장비 엔지니어를 위한 트레이닝 센터와 재제조 센터 등의 첨단 클러스터를 조성하기로 한 데 대해 사의를 표했다고 전했다.
문 장관은 "이번 투자를 통한 ASML과의 협력 강화로 첨단 반도체를 제조하는 우리 기업의 경쟁력 강화가 기대된다"며 "국내 소재·부품·장비 기업들과의 협업을 통해 첨단 장비 관련 소재·부품의 공급 안정성 강화에 힘써 달라"고 당부했다.
이에 베닝크 CEO는 "EUV 노광장비의 신속한 국내 공급을 위해 지난해 건의했던 `고압가스안전관리법`상 중간검사 방식을 개선해 준 데 대해 감사하다"며 "한국 반도체산업 발전에 기여할 수 있기를 바란다"고 화답했다.
미국 AMAT, 램 리서치(Lam Research)와 더불어 세계 3대 장비업체로 불리는 ASML은 반도체 미세공정에 필수인 EUV 노광장비 시장을 독점하고 있는 기업으로, 연간 EUV 노광장비 생산량이 45대 정도에 불과하다.
우리로서는 반도체가 제1의 수출품목인 만큼 치열한 EUV 노광장비 확보 경쟁 속에서 긴밀한 협력이 불가피한 곳이다.
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