尹, ASML 방문…삼성-ASML 1조 투자해 반도체 R&D센터 설립

윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문을 계기로 삼성전자와 ASML이 공동으로 1조원을 투자해 차세대 EUV(극자외선) 기반 초미세 공정을 개발하는 R&D센터를 한국에 설립하기로 했다.

SK하이닉스 역시 ASML과 'EUV용 수소가스 재활용 기술개발'을 위해 힘을 모으기로 했다 .


윤석열 대통령은 12일(현지시간) 네덜란드의 빌렘-알렉산더 국왕과 함께 네덜란드의 반도체장비 생산기업 ASML의 본사를 방문했다.



이곳에서 양국 정상은 한국과 네덜란드, 유럽의 주요 반도체 기업 대표들과 간담회를 갖고 차세대 극자외선(EUV) 노광장비 생산현장을 함께 둘러봤다.

ASML은 인공지능, 스마트폰 등에 사용되는 최첨단 반도체 제조에 사용되는 EUV 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산하는 기업이며, 우리 반도체 기업들과 오랜 기간 긴밀한 협력 관계를 유지해 오고 있다.

윤 대통령과 빌렘-알렉산더 국왕은 ASML에 도착한 직후. 양국 정상의 동반 방문을 기념하는 문구가 새겨진 웨이퍼에 서명했다. ASML은 서명된 웨이퍼를 본사 클린룸에 전시할 예정이다.

이어 양국 정상은 ASML과 협력 관계에 있는 한국, 네덜란드, 유럽의 주요 반도체 기업, 기관들과 간담회를 가졌다.

간담회에는 삼성전자, SK하이닉스, ASML(네덜란드, 노광장비), ASM(네덜란드, 증착장비), Zeiss(독일, 광학시스템), IMEC(벨기에, 반도체 연구기관) 대표들이 참석했다.

윤 대통령은 그간 ASML이 선도한 기술혁신이 전 세계 4차 산업혁명의 강력한 동력이 되고 있다고 평가하고, 네덜란드의 반도체 기업들이 한국에 생산, R&D, 인재 양성을 위한 시설을 새로 건설하는 등 투자를 확대해 온 데 대해 사의를 표했다.



간담회 직후 윤 대통령과 빌렘-알렉산더 국왕이 참석한 가운데 양국 정부와 기업 등은 3건의 반도체 분야 협력 MOU를 체결했다.

ASML은 삼성전자와 함께 1조원을 투자해 차세대 EUV 기반으로 초미세 공정을 공동 개발하는 ‘차세대 반도체 제조기술 R&D센터'를 한국에 설립하는 MOU를 체결했다. 장비기업인 ASML이 반도체 제조기업과 공동으로 해외에 반도체 제조 공정을 개발하기 위한 R&D센터를 설립하는 것은 이번이 처음이다.

윤 대통령은 지난해 11월과 금년 7월 ASML 피터 베닝크 회장을 두 차례 만나 한국에 대한 투자 확대를 요청한 바 있다.

SK하이닉스는 ASML과 ‘EUV용 수소가스 재활용 기술개발 MOU’를 체결했다. EUV 장비 내부의 수소를 태우지 않고 재활용할 경우, 전력 사용량은 20% 줄어들고, 연간 165억원의 비용이 감축될 것으로 분석된다.

또한 산업통상자원부와 네덜란드 외교부는 최첨단 반도체 생산장비를 활용하여 양국 대학원생에게 현장 학습 기회를 제공하는 ‘한-네덜란드 첨단반도체 아카데미’ 신설 협력 MOU를 체결했다. 첨단반도체 아카데미는 양국에서 100명이 참석한 가운데 내년 2월 네덜란드에서 첫 번째 교육이 개시될 예정이다.

마지막으로 양국 정상은 ASML의 클린룸을 함께 방문해 차세대 EUV 장비 생산 현장을 시찰했다.

윤 대통령과 빌렘-알렉산더 국왕이 방문한 클린룸은 이번에 처음 공개됐다.