"삼성전자, 벨기에서 포토레지스트 대체조달처 확보"

삼성전자가 일본의 수출 규제에 대응해 벨기에에서 일부 반도체 소재를 조달하고 있다는 보도가 일본에서 나왔다.
이 매체는 삼성 간부 출신인 한양대 박재근(반도체공학) 교수를 인용해 "삼성전자가 벨기에에 소재한 한 업체에서 포토레지스트(감광액)를 조달하고 있다"고 전했다.
박 교수에 따르면 삼성전자는 최첨단 칩 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼에 회로 패턴을 저장하는 데 사용하는 이 화학물질을 6~10개월 단위 물량으로 구입하고 있다.
이 매체는 박 교수가 벨기에 공급업체 이름을 공개하지 않았지만, 일본 기업 JSR와 벨기에 연구센터 IMEC가 2016년 설립한 합작법인 EUV레지스트일 것으로 추정했다.
이 합작회사의 최대 주주는 JSR의 벨기에 자회사인 JSR마이크로다.
닛케이 아시안 리뷰는 JSR 사정에 밝은 한 소식통이 일본 정부의 수출 규제 조치가 발표된 후인 지난 7월 중순 "우리는 벨기에 합작법인을 통해 삼성에 포토레지스트를 공급할 것"이라고 말했다면서 박 교수의 언급은 이 말을 뒷받침한다고 전했다.
이 매체는 다만 일본 기업이 제3국의 시설을 통해 한국에 규제 품목을 공급하는 것은 합법적이어야 한다며 일본 정부의 감시를 받을 수 있다고 덧붙였다.