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반도체 수율 전쟁…'먼지'와의 전쟁서 승리한 ASML 공급망 [강경주의 테크X] 2026-01-13 07:00:09
반도체 제작 공정에서 '재앙' 비유되는 먼지를 VDL-ETG의 이 시스템은 원천적으로 차단했다. 기존 웨이퍼 이송 장치는 바퀴·레일 기반 기계식 구조여서 아무리 미세하게 설계해도 마찰과 진동, 먼지, 마모를 완전히 제거하지 못했다. 20~14나노미터(㎚·1㎚는 10억분의 1m) 공정에서는 이러한 먼지나 진동이...
美·中도 쩔쩔매게…'급소 기술' 광반도체 준비하는 ASML 생태계 2025-12-31 16:23:20
구조적으로 마찰과 진동, 미세먼지를 완전히 제거할 수 없다. 3㎚ 이하 초미세 공정에선 곧바로 수율 붕괴로 이어진다. 자기부상 방식은 웨이퍼를 실은 플랫폼이 바닥과 접촉하지 않은 채 자력으로 떠서 이동할 수 있게 만든 기술이다. 마찰은 ‘0’에 수렴하고, 진동과 먼지 발생은 원천 차단된다. 이 기술의 의미는 EUV...
테슬라 사상 최고치 경신…국회, 오늘 쿠팡 청문회 [모닝브리핑] 2025-12-17 06:55:33
9∼1도, 최고 2∼10도)보다 높겠습니다. 오전까지 중부 내륙에 짙은 안개가 끼겠고, 중부 내륙과 남부 높은 산지를 중심으로 빙판길과 도로 살얼음이 생기는 곳도 있겠으니 안전사고에 유의해야 하겠습니다. 미세먼지 농도는 서울·경기 북부·경기 남부·세종·충북·대구는 '나쁨', 그 밖의 권역은 '보통'...
나노플라스틱, 파킨슨병 위험 더 높인다…동물실험서 확인 2025-11-24 15:02:30
박사는 "현재 미세먼지에 대해서는 국제적으로 엄격한 기준이 있지만, 미세·나노플라스틱은 관리 체계가 없는 실정"이라며 "향후 다양한 플라스틱 입자 조합, 실제 환경 시료, 인체 역학 연구로 연구 범위를 확대하고, 공기 중 미세·나노플라스틱 관리 기준 마련에 과학적 근거를 제공할 것"이라고 말했다. 연구 결과는...
LG전자, 가정용 환기시스템 출시…AI로 실시간 공기질 감지 2025-11-18 10:00:02
쾌적할 경우 외기를 활용하는 '자연바람 환기' 모드, 실내 미세먼지만 제거하면 되는 경우 내부 공기만 정화하는 '실내 순환' 모드 등 다양한 환기 모드를 선택할 수 있다. 필터에는 UV 나노(UV nano) 살균 기술이 적용돼 황색포도상구균, 폐렴막대균 등 세균과 바이러스 증식을 99.99% 억제한다. H14 등급...
반도체 2나노 주도권 놓고 한·일전 불붙었다 2025-11-16 18:41:30
나노 공정을 도입하려는 포석이다. 펠리클은 반도체 회로도 역할을 하는 투명한 석영기판(포토마스크) 위에 덮어 씌우는 초박막 필름이다. 장당 수억원에 달하는 EUV 포토마스크를 먼지와 오염으로부터 보호해 수율을 지키는 ‘보이지 않는 방패’로 통한다. 7나노 이상 레거시 공정에서 심자외선(DUV) 공정에 활용되는 DUV...
"1억℃ 핵융합" 견디는 핵심기술 보유...내달 상장한다는 이 회사 2025-10-28 06:10:01
발생하는 이산화탄소나 미세먼지 걱정 없이 수소와 같은 유용한 자원을 회수할 수 있다"고 설명했다. 플라스마의 적용 범위는 무궁무진하다. 골칫거리인 음식물 쓰레기를 처리하면 악취 없이 비료로 활용 가능한 탄화물만 남는다. 탄화물 시장 규모만 1조 원이다. 최근 해체가 승인된 고리 1호기 등 원전 해체 시장에서도...
"이산화탄소 완전 분해 가능"…탄소중립 앞당길 혁신 기술 나왔다 2025-09-23 16:09:35
형태로 필터에 분사해 각종 유해가스와 미세먼지를 걸러낸 뒤 또 다른 필터가 남아있는 유해가스를 한 번 더 걸러내는 방식이다. 물이 필터를 통과하면서 자연적으로 필터를 청소해 장기간 필터를 교체하지 않아도 된다는 게 회사 측 설명이다. 고압 분무 형태로 물을 분사하는 과정에서 다량의 음이온을 방출해 세균 제거,...
"돈 안돼도 좋다, 세상을 바꿔라"…MIT, 나노기술에 5억弗 투자 2025-09-04 17:36:49
MIT나노 연구소장은 지하 1층에 있는 실험실을 소개하고 싶다고 했다. 지하 1층에는 12개 연구 공간이 독립적으로 구성돼 있었다. 각각의 공간은 소음과 전자파로부터 완전 차단되고, 미세한 진동도 허용되지 않는다. 불로비치 소장은 “나노 스케일 연구를 위해서는 작은 먼지도 장치에 들어가선 안 된다”며 “동시에...
LG전자, 'B2B 가전 구독' 서비스 강화...초기 비용과 유지비 부담 낮춰 2025-08-20 18:18:26
UV나노 기술로 살균 처리해 세균과 바이러스 번식을 99.99% 차단한다. H14 등급의 고성능 헤파 필터를 탑재해 미세먼지를 99.995% 이상 제거할 수 있다. 구독 고객에게는 6개월 주기 방문관리 서비스가 제공되며, 요금은 월 5만~9만 원대다. 4년 이상 구독 시 다른 구독 상품과 결합해 추가 할인 혜택을 받을 수 있다....